台灣尼康提供在地化服務
作業名稱
改善效能
產能提升
Nikonnest
TM
V
提升整體生產力2至5%
Nikonnest
TM
3
提升整體生產力4至7%
曝光照度提升
提升曝光照度7至15%
對準最佳化
降低對準異常，提升產能
I-line高照度汞燈
提升整體生產力2至15%
曝光照度提升之多層膜誘電體反射鏡
提升照度5至8%
FIA同時量測
FIA對準效能提升約8%
WL2傳送流程最佳化
最大效能每片縮短2 sec
作業名稱
改善效能
良率提升
投影鏡整體性能改善
改善照度及均一性，提昇線幅均一性及良率
疊對精度提昇的GCM
修正機台間stage grids，提高堆疊精度
雷射波長補正
降低大氣壓力變化所產生對Focus異常的影響，提升良率
轉寫影像的去除
消除轉寫影像，提升良率
即時曝光監測系統
監測並紀錄曝光資料，依此分析異常，提升良率
作業名稱
改善效能
效能改善
DUV照明系有機物過濾器
去除機台內空氣中有機物，降低照明系及投影鏡霧化速率
照明均一性最佳化RPF
改善機台照明ID間照明均一性差異
I-Line照明系潔淨化
照明系內環境潔淨之維護，維持照明系照度及均一性
投影鏡空氣洗淨系統
維持投影鏡整體效能，維持結像系之照度及均一性
疊對模擬程式
疊對精確度最適化之模擬軟體工具
可調式之照明均一系統(Uniformity Control Filter)
以參數設定的方式，自動調整照明均一性
縮小切割道的對準
符合縮小切割道之製程需求，增加單位晶圓上Die數
效能提升-作業軟體更新
作業軟體最佳化
可調式NA改造
製程最佳化
FC2量測精度提升
FC2再現性精度提升
作業名稱
改善效能
作業便利化
照度量測簡易化
感測器安裝簡易化，避免人為操作錯誤
自我檢測系統(Self-Measurement Programs)
減少螺桿定期潤滑保養的頻率
晶圓平台螺桿改造
減少螺桿定期潤滑保養的頻率
PPD感度調整
減少因高感度檢測所造成之頻繁警示
